晶圓和半導體工業測量-capa

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發布日期：2016-04-27 瀏覽： 次

半導體工業當中，為了實現工藝要求和生產效率，需要滿足超高精度的測量。德國米銥公司提供的電容式位移傳感器被用于以納米級的精度校準芯片光刻機中鏡片的位置，測量晶圓厚度等應用。

Extreme accuracies are required in the semiconductor industry in order to design processes and products efficiently. Capacitive sensors from Micro-Epsilon are used, among other things, for the positioning, displacement measurement and thickness measurement in the semiconductors area.

以納米級的精度校準芯片光刻機中鏡片的位

晶圓厚度三點測量      

兩支電容式傳感器測量晶圓厚度

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