壓電陶瓷驅動微動臺位移反饋-capa

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發布日期：2014-09-15 瀏覽： 次

壓電陶瓷驅動定位工作臺, 以壓電陶瓷致動器為核心驅動元件，運動范圍在幾十微米到幾百微米，運動分辨率和重復定位精度在納米級，可應用于光學調整、光纖作業、MEMS技術、生物工程、超精密加工、生物工程、超精密加工、醫療科學、集成電路制造、數碼擴印等領域的精密定位、精密調整及檢測等方面。采用德國米銥公司提供的精密電容位移傳感器，可以實現納米級分辨率的位移反饋。